高分辨场发射扫描电镜
仪器型号：Apreo 2s
生产厂家：赛默飞
技术参数：
高真空模式分辨率 | 15kV时≤0.5nm； 1 kV时≤0.8nm；500 V时≤1.0nm | 长工作距离分辨 | 工作距离10 mm下，1 kV时≤1.0 nm |
放大倍率范围 | ≥20 ～ 2,000,000倍 （底片放大，非显示放大） | 着陆电压 | ≥20V 至 30 kV |
电子束流 | ≥1 pA ～ 50 nA，连续可调 | 样品室左右内径 | ≥340mm |
设备简介：本设备为赛默飞世尔（Thermo Fisher Scientific）推出的 Apreo 2s 复合型高分辨场发射扫描电子显微镜，是面向前沿材料、新能源、微电子、催化等领域的高端纳米表征分析平台，兼顾亚纳米级形貌成像与原位元素同步分析，适配多用户共享实验室科研需求Thermo Fisher Scientific。设备核心搭载磁电复合浸没式物镜，成像分辨率行业领先：1kV 加速电压下原生分辨率可达0.9 nm，搭配束减速模式可提升至0.8 nm；500V低电压下分辨率0.8 nm，200V超低电压仍维持1.2 nm分辨能力，即便10 mm长分析工作距离下依旧实现1 nm高清成像，是同类设备中唯一可在分析工作距离下不损失分辨率的机型，兼顾大空间样品观测与高精度形貌表征需求，磁性粉体、薄膜、纳米器件等难成像样品均可获得无畸变清晰图像。设备加速电压覆盖200 V–30 kV，束流区间1 pA–50 nA，低束流模式可大幅降低绝缘、有机、生物敏感样品电子束损伤。
能谱仪系统（EDS）/电子背散射衍射系统（EBSD）
仪器型号：Ultim Max 65/Symmetry S3
生产厂家：0xford Instruments Nanotechnology Tools Ltd
技术参数：
EDS分析元素范围 | Be（4）～Am（95）号元素 | EDS能量分辨率 | ≤ 127eV |
EBSD分辨率 | 1244*1024 | EBSD在线解析标定速度 | ≥ 5700pps |
EBSD取向精度 | ≤0.05度 | EBSD相机 | 高速低噪音CMOS相机 |
设备简介：Ultim Max 65 为 65mm² 大面积硅漂移探测器（SDD），Symmetry S3 是业界一体化 CMOS 型 EBSD 探测器，两套系统可同步采集 EDS 元素分布与 EBSD 晶体取向数据，实现元素偏析、物相种类、晶粒织构、微观应力的关联分析。系统适配金属合金、固态电解质、半导体器件、陶瓷、地质矿物、复合材料等各类试样，可完成断口失效分析、界面元素扩散、晶粒演化、成型工艺织构、微区缺陷定量统计等测试。整机自动化程度高，标定算法稳定，操作流程标准化，适配高校公共测试平台、企业材料研发实验室批量样品检测，为新材料机理研究、器件性能优化、工艺缺陷溯源提供完整、高精度微区定量表征数据支撑。
原位高温力学测试系统
仪器型号：MINI-MTS2000@ HT1200
生产厂家：浙江祺跃科技有限公司
技术参数：
最大载荷 | ≥2000N | 载荷控制精度 | ≤±1N |
位移/行程 | 拉伸变形行程≥25mm | 拉伸速率 | ≥0.1μm/s～10μm/s，连续可调 |
位移传感器分辨率 | ≥±100nm | 控制模式 | 力/位移控制模式 |
设备简介：本套原位高温力学测试系统由浙江祺跃科技有限公司自主研发生产，型号 MINI-MTS2000@HT1200，可直接搭载于赛默飞 Apreo 2s 场发射扫描电镜样品腔内部，实现力 - 热多场耦合下材料微观变形、断裂行为同步原位观测，搭配牛津仪器 EDS、EBSD系统联动测试，构建形貌-元素-晶体取向-力学性能一体化表征平台，适配高温合金、陶瓷、新能源电极、复合材料等前沿材料高温服役机理研究，整机国产化程度高，结构紧凑、真空兼容性优异。力学主机 MINI-MTS2000 采用高刚性双向双丝杆对称加载结构，额定最大载荷 2000N，载荷控制精度±1N，位移分辨率达100nm，加载速率区间0.1–10μm/s，支持拉伸、压缩、三点弯曲、高温蠕变等多种力学试验模式。设备自带机械自锁机构，测试过程可随时启停锁定视场，配合智能闭环控制系统，有效抑制高温加载下样品热漂移与机械偏移，保证电镜高分辨持续成像；24位高速AD采集模块同步记录载荷、位移数据，实时输出应力-应变曲线，可同步匹配SEM图像、EBSD取向数据完成多信号时序关联分析。
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